废气处理设备的安全性包括两个主要方面：一、废气处理设备本身的安全性；二是设计为有机废气净化系统设计的安全性。只要两者都存在安全问题，那就必然存在危险隐患。
1.废气一般为易燃易爆.有毒的、有害的气体，规划中的安全要素是主要的指导原则。因此VOC的浓度安全指标要在1/4以下爆炸下限运行。经验丰富的规划者会考虑突发性浓度的挥发，如生产者的工艺配方错配，生产线温度或压力参数异常等应具备应急操作方法。特别是在化学工业中，这一问题尤为重要。因此，选择具有丰富经验的废气处理设备企业就显得尤为重要。
2.废气处理工程系统的电气控制与自控是一个指挥系统，因此，电气控制原理规划要简洁.牢固.电气元件要牢固；应有好的工作环境；电气设备要严格执行相关标准中关于防雷、接地的安全方法以及防范各种事件的保护措施。
3.废气处理设备的选择要符合要求，牢固可靠，这是达标排放的基础。由于废气的成分很多，废气处理设备的质量直接影响安全生产运行和有机废气处理效果。在正常运行过程中，废气处理装置的排放应符合国家或地方大气污染物排放标准。
4.废气处理设备处理废气的针对性很强。一些尾气中含有微粒.卤素废气.重金属等化合物，对废气处理设备有干扰，甚至损坏废气办理功能。因此，在进入废气处理设备之前，应采用洗刷或预吸附等预处理方法。
5.废气处理设备应归入生产处理程序，并配备专业办事员和技术员。尾气处理设备投入使用前，企业应培训其操作者和操作者，使其操作人员掌握废气处理设备及其他辅助设备的具体操作，以及紧急情况下的处理方法。企业应当建立和完善废气处理设备有关的各种法规规范，以及运行.保护和操作程序，并建立主要废气处理设备运行状态规范。